【本文来自持牌证券机构，不代表平台观点，请独立判断和决策】 半导体量检测设备是芯片良率控制的关键，是半导体色板第四大细分赛道，目前美系厂商科磊国内市占超70%，具备极大国产替代空间和自主可控必要性。 1）半导体量检测设备：芯片良率关键，光学和电子束技术优势互补 半导体量检测设备主要用于前道晶圆制造和中道先进封装中的工艺控制，是芯片良率的关键。 随着半导体工艺制程的不断缩小，芯片内部结构日趋复杂，同时应用于HBM等新兴领域的2.5D/3D先进封装技术也快速发展，行业对于工艺控制要求愈发严苛，下游客户对高端半导体质量控制设备的技术要求及需求量也持续提升。 2）明暗场晶圆缺陷检测设备壁垒高市场广，是龙头厂商的兵家必争之地 从工艺应用上看，半导体工艺控制设备分为“缺陷检测”和“量测”两大类： 缺陷检测是指在晶圆表面上或电路结构中，检测其是否出现异质情况，如颗粒污染、表面划伤、开短路等对芯片工艺性能具有不良影响的特征性结构缺陷。 量测指对被观测的晶圆电路上的结构尺寸和材料特性做出的量化描述，如薄膜厚度、关键尺寸、刻蚀深度、表面形貌等物理性参数的量测。 根据VLSIResearch，2020年全球半导体量检测设备市场中，缺陷检测设备市场占比约62.6%，量测设备市场占比约33.5%。 其中，基于明场/暗场成像原理的纳米图形晶圆缺陷检测设备技术壁垒高，市场占比达24.7%，是龙头厂商必争之地。 3）美系厂商科磊国内市占超70%，具备极大国产替代空间和自主可控必要性 2023年全球半导体量检测设备在全球半导体制造设备中占比近13%，是仅次于刻蚀设备、薄膜沉积设备、光刻设备的第四大细分赛道。 近年来中国半导体产业发展迅速，头部晶圆厂加速技术追赶和产能扩张，带动中国大陆半导体量检测设备市场高速发展。 根据VLSI统计，2023年中国大陆半导体检测与量测设备市场规模达到43.6亿美元。 2023年全球量检测设备龙头美系厂商科磊中国大陆收入规模约33.9亿美元，市占率超70%，处于寡头垄断低位； 而国内量检测设备领域放量较快的中科飞测2023年收入规模仅8.9亿元，国内市占率不到5%。 当前中美博弈背景下，半导体量检测设备板块具备极大的国产替代空间和极强的自主可控必要性。 4）看好半导体量检测设备国产替代带来的投资机会 ①中科飞测：产品覆盖半导体量检测设备66.6%市场，关键明暗场缺陷检测设备已出货至多家头部客户验证中。2024年营收13.8亿元，同比增长55%，国产放量相对最快。 ②精测电子：67%控股上海精测，布局光学和电子束检测技术，其明场光学缺陷检测设备已完成首台套交付及验收且取得先进制程订单，有图形暗场缺陷检测设备正研发中。 ③中微公司：27.5%持股睿励仪器，布局光学检测技术；60%持股超微公司，发力电子束检测技术。 ④天准科技：通过自主研发、并购德国Muetec和战略投资成立苏州矽行公司布局半导体量检测领域，其面向14nm节点的TB2000明场缺陷检测设备已正式通过厂内验证。 研报来源：兴业证券，姚康，S0190520080007，半导体量检测设备：控制芯片生产良率的关键，具备极大国产替代空间和极强迫切性，2025年4月11日。